■可配置液體(ti) 或氣體(ti) 樣品；
■可實現標樣加濕功能；
■兩(liang) 級高精度MFC控製；
■稀釋比高；
■全自動運行，直接讀取濃度，ppm，ppb或ppt；
■可針對不同用戶的稀釋要求定製產(chan) 品。
APK6100E半導體(ti) 行業(ye) 超高純(特種)氣體(ti) 稀釋係統，是一款具有高精度高稀釋比的升級產(chan) 品，可稀釋2到15種不同氣體(ti) ，稀釋比可達到1:10000，二級稀釋，高精度，帶有加濕功能，可用於(yu) 傳(chuan) 感器生產(chan) 商，半導體(ti) 生產(chan) 商的產(chan) 品測試及科研院所的科學研究。可根據用戶要求定製。
特點：
苯係物BTEX，PAMS，硫化物，TO-15，HCHO，SO2，N2O，NO2以及其他;
帶有加濕功能，可控製稀釋後氣體(ti) 濕度
高精度質量流量計（MFC），配製氣體(ti) 濃度精準
可選配液體(ti) 標樣稀釋模塊
功能：
1、單一/混合氣體(ti) 配製
通過質量流量控製器（MFC）順序連接兩(liang) 種或多種標準氣體(ti) ，如順序稀釋或產(chan) 生混合氣體(ti) 。可以單獨稀釋多種標準氣體(ti) ，也可以通過同時稀釋多種的標準氣體(ti) 來產(chan) 生混合氣體(ti) 。
2、蘇瑪罐罐衝(chong)
該係統配備了壓力傳(chuan) 感器，以精確的壓力將稀釋氣體(ti) 引入罐中。
3、控製溫度和濕度
自動調節溫度和濕度，在各種條件下連續產(chan) 生氣體(ti) 。
4、液體(ti) 標樣氣化稀釋
可選配液體(ti) 標樣稀釋模塊
5、顆粒物發生裝置
可選配顆粒物發生裝置，模擬各種工況
以上功能均可根據客戶實際需求組合定製。
應用：
傳(chuan) 感器生產(chan) 商
半導體(ti) 生產(chan) 商
科研院所
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